우리 공동실험실습관에 신규 도입된 분석 장비를 소개합니다.

 

 

▣ 장비명 : 장방출주사전자현미경Ⅰ(Field Emission Scanning Electron Microscope, FE-SEM)

 

▣ 장비 소개

 

1) 일반 광학 현미경에서 관찰이 어려운 시료의 미세영역을 50만배 이상 확대하여 표면구조 및 형태 분석이 가능

2) 정전기 대물렌즈와 업그레이드 된 검출 시스템을 기반으로 Field-free 초고해상도 영상을 얻을 수 있으며, 자기장이 샘플에

   영향을 주지 않아 자성 및 비자성 샘플 모두 고해상도 결과를 검출 가능

3) EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer, 에너지 분산 X-선 분석기)를 이용한 시료의 성분 분석이 가능

   (우리 공동실험실습관에 보유한 EDS검출기 중 최고 사양)

▣ 장비 사양

 

 1. FE-SEM 사양

   1) 모델: CLARA

   2) 제작사: TESCAN

   3) 제조국: 체코

   4) 분해능 : 0.9nm @15kV, 1.4nm @1kV

   5) 가속전압 범위 : 0.05kV ~ 30kV

   6) Probe 전류 범위 : 2pA ~ 400nA

   7) 배율 : ×4 ~ ×2,000,000

   8) 전자총 : Hight brightness Schottky emitter

   9) 가능한 분석 : SE, BSE, EDS

 

 2. EDS 사양

   1) 모델: Ultim Max

   2) 제작사: OXFORD

   3) 제조국: 영국

   4) Active area: 100mm2

   5) Detector: Si Drift Detector (SDD)

   6) Resolution: 127 eV at Mn Ka (130,000cps)

   7) 분석 가능 원소: Be(원자번호:4) ~ Cm(원자번호:96)

 

▣ 분석지원 문의 : 담당 백지영연구원 042-821-7384, baekji511@cnu.ac.kr

▣ 장비 세부 설명 및 자료 : 장방출주사전자현미경Ⅰ 기기안내 바로가기

 

많은 이용 바랍니다.

감사합니다.