우리 공동실험실습관에 신규 도입된 분석 장비를 소개합니다.

 

▣ 장비명 : 타원편광분석기, Spectroscopic Ellipsometer

 

▣ 장비 사양

 

- 모델 : M-2000D

 

- 제작사 : J.A.Woollam

 

- 제조국 : 미국

 

- 사양 :

 

 1. Light Source : QTH(Quartz-Tungsten-Halogen)/ Deuterium

 

 2. Detector : CCD array (UV/VIS)

 

 3. Angle Range : 45°~90°

 

 4. Spectral Range : 193 ~ 1000nm (~500 Wavelengths)

 

 5. Spectral Resolution : 1.6nm pixel resolution (UV/VIS)

 

 6. 300um beam focusing

 

 7. Automated Sample Translator(200mm*200mm)

 

▣ 분석 응용

 

- 광학 코팅, 반도체, FPD, LED, Solar Cell 등의 부품소재에 사용되는 얇은 박막(film)의 두께(d) 및 광학상수(굴절률 n, 흡수계수 k)를 측정

 

- Å ~ 수 ㎛ 단층 및 다층 박막의 두께 계측 및 박막 표면  2D 매핑

▣ 분석지원 문의 : 담당 최선영연구원 042-821-7362, kissyk4@cnu.ac.kr

 

▣ 장비 세부 설명 및 자료 : 기기안내 바로가기[클릭], 하단 장비 카탈로그 참고해주세요.

 

▣ 분석료 : 

 

	단층막	다층막	2D-Mapping
Raw Data	30,000원/시료(1시간) 초과 시 15,000원/30분	30,000원/시료(1시간) 초과 시 15,000원/30분	60,000원/시료(1시간) 초과 시 30,000원/30분
Raw data +Modelling 의뢰자 직접	50,000원/시료(1시간) 초과 시 25,000원/30분	50,000원/시료(1시간) 초과 시 25,000원/30분	80,000원/시료(시간) 초과 시 40,000원/30분
Raw data +Modelling 담당자	80,000원/시료(1시간) 초과 시 40,000원/30분	100,000원/시료(1시간) 초과 시 50,000원/30분	120,000원/시료(1시간) 초과 시 60,000원/30분

* n, k, Thickness의 경우 1 point 기준

* 2D-Mapping의 경우 13 points 기준

 

- Focusing Light Beam(300㎛) 사용 시 : 분석료 + 10,000원

 

* Modelling 프로그램 : CompleteEASE 6.0

* Modelling 의뢰자 직접의 경우 실험실에 방문하셔서 분석용 Computer에서 직접하시면 됩니다. (사용 가능한 자만)

* Modelling 담당자의 경우 샘플에 따라 결과를 받으시는 기간이 최대 2주 이상 소요 될 수 있음을 미리 안내드립니다.

많은 이용 바랍니다.

감사합니다.